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News電容位移傳感器未來會集成化多功能化智能化發展
更新時間：2018-07-05 點擊次數：1536次
電容位移傳感器是一種非接觸式的精密傳感器，用于精密測量儀器及控制設備中，作為檢測探頭，對微小的位移變化起反應。
其特性是：
①具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點；
②信噪比大，靈敏度高，零點漂移小；
③頻率響應寬， 線性度高，精度及穩定性好；
④具有抗電磁干擾能力強，使用操作方便等優點。
當前電容位移傳感器在科學技術領域、工農業生產以及日常生活中發揮著越來越重要的作用。人對傳感器提出的越來越高的要求是傳感器技術發展的強大動力，而現代們學技術突飛猛進則提供了堅強的后盾。隨著科技的發展，電容位移傳感器也在不斷的更新發展。展望未來電容位移傳感器的發展應當為三化：集成化、多功能化、智能化。
電容位移傳感器集成化包括兩種定義，一是同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來，排成1維的為線性傳感器，CCD圖象傳感器就屬于這種情況。集成化的另一個定義是多功能一體化，即將傳感器與放大、運算以及溫度補償等環節一體化，組裝成一個器件。
隨著集成化技術的發展，各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現，有的已經成為商品。集成化壓力傳感器有各種類型，其中壓阻式集成化傳感器發展快、應用廣。
電容位移傳感器的多功能化也是其發展方向之一。所謂多功能化的典型實例，單片硅多維力傳感器可以同時測量3個線速度、3個離心加速度(角速度)和3個角加速度。主要元件是由4個正確設計安裝在一個基板上的懸臂梁組成的單片硅結構，9個正確布置在各個懸臂梁上的壓阻敏感元件。多功能化不僅可以降低生產成本，減小體積，而且可以有效的提高傳感器的穩定性、可靠性等性能指標。
把多個功能不同的傳感元件集成在一起，除可同時進行多種參數的測量外，還可對這些參數的測量結果進行綜合處理和評價，可反映出被測系統的整體狀態。由上還可以看出，集成化對固態傳感器帶來了許多新的機會，同時它也是多功能化的基礎。
電容位移傳感器與微處理機相結合，使之不僅具有檢測功能，還具有信息處理、邏輯判斷、自診斷、以及“思維”等人工智能，就稱之為電容位移傳感器的智能化。借助于半導體集成化技術把傳感器部分與信號預處理電路、輸入輸出接口、微處理器等制作在同一塊芯片上，即成為大規模集成智能傳感器。可以說智能傳感器是傳感器技術與大規模集成電路技術相結合的產物，它的實現將取決于傳感技術與半導體集成化工藝水平的提高與發展。這類傳感器具有多能、高性能、體積小、適宜大批量生產和使用方便等優點，可以肯定地說，是電容位移傳感器重要的方向之一。
其特性是：
①具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點；
②信噪比大，靈敏度高，零點漂移小；
③頻率響應寬， 線性度高，精度及穩定性好；
④具有抗電磁干擾能力強，使用操作方便等優點。
當前電容位移傳感器在科學技術領域、工農業生產以及日常生活中發揮著越來越重要的作用。人對傳感器提出的越來越高的要求是傳感器技術發展的強大動力，而現代們學技術突飛猛進則提供了堅強的后盾。隨著科技的發展，電容位移傳感器也在不斷的更新發展。展望未來電容位移傳感器的發展應當為三化：集成化、多功能化、智能化。
電容位移傳感器集成化包括兩種定義，一是同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來，排成1維的為線性傳感器，CCD圖象傳感器就屬于這種情況。集成化的另一個定義是多功能一體化，即將傳感器與放大、運算以及溫度補償等環節一體化，組裝成一個器件。
隨著集成化技術的發展，各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現，有的已經成為商品。集成化壓力傳感器有各種類型，其中壓阻式集成化傳感器發展快、應用廣。
電容位移傳感器的多功能化也是其發展方向之一。所謂多功能化的典型實例，單片硅多維力傳感器可以同時測量3個線速度、3個離心加速度(角速度)和3個角加速度。主要元件是由4個正確設計安裝在一個基板上的懸臂梁組成的單片硅結構，9個正確布置在各個懸臂梁上的壓阻敏感元件。多功能化不僅可以降低生產成本，減小體積，而且可以有效的提高傳感器的穩定性、可靠性等性能指標。
把多個功能不同的傳感元件集成在一起，除可同時進行多種參數的測量外，還可對這些參數的測量結果進行綜合處理和評價，可反映出被測系統的整體狀態。由上還可以看出，集成化對固態傳感器帶來了許多新的機會，同時它也是多功能化的基礎。
電容位移傳感器與微處理機相結合，使之不僅具有檢測功能，還具有信息處理、邏輯判斷、自診斷、以及“思維”等人工智能，就稱之為電容位移傳感器的智能化。借助于半導體集成化技術把傳感器部分與信號預處理電路、輸入輸出接口、微處理器等制作在同一塊芯片上，即成為大規模集成智能傳感器。可以說智能傳感器是傳感器技術與大規模集成電路技術相結合的產物，它的實現將取決于傳感技術與半導體集成化工藝水平的提高與發展。這類傳感器具有多能、高性能、體積小、適宜大批量生產和使用方便等優點，可以肯定地說，是電容位移傳感器重要的方向之一。
